AIRRANE

防静电设备

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防静电设备

防静电设备
原理图
 Nitrogen Gas Membrane System
半导体,显示屏产业的清洗工艺中使用多量的超纯水。将二氧化碳渗透至超纯水,来降低电阻,减少高材质的表面摩擦, 以至减少不合格品。AIRREN不仅在发展二氧化碳的注入模组、同时也发展发泡机等相关事业。
主要应用
  • Biogas Upgrading Korea

    使用在用超纯水清洗半导体晶片的工艺 (Scrubber , Lithography, Mask cleaning, CMP, Dicing 等)

  • Biogas Upgrading Korea

    使用在用超纯水清洗显示屏晶片的工艺 (Mask, Glass Cleaning 等)

  • Biogas Upgrading Korea

    降低超纯水电导率的工艺

  • 为什么采用 AIRRANE 的防静电设备?
  • ·由自主生产的气体分离膜来确保源泉技术

    ·相对更迅速的溶解二氧化碳

    · 由简单的设置结构所形成的低性能差距或故障率

    ·通过各种闹钟设定及电阻率值的传送,提供用户的便利性



AIRRANE 产品规格
型号 直径 (mm) 连接口 (inch) DI Water
L OD ID Feed Retentate CO2 In / Out
MDB-1004P 142 50 36 1/4" 1/4" 1/4" 0.2~2.0L/m
MDB-1607P 230 65 50 1/2" 1/2" 1/8" 2.0~15L/m
MDB-2108P 275 75 60 1" 1" 1/4" 15~30L/m
MDB-2510P 310 95 83 1/5" 1/5" 1/4" 10~50L/m
二氧化碳注入装置 & 二氧化碳发泡机
性能图表