Co2 Injection & Bubbler

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Co2 Injection & Bubbler

AIRRANE for CO2 Injection & Bubbler
개념도
 Nitrogen Gas Membrane System
반도체, 디스플레이 산업의 세척공정에는 다량의 초순수(DI Water)가 사용됩니다. 초순수에 CO2를 포화시켜 저항을 낮추어 고가 소재 의 표면 마찰을 감소시켜 불량을 줄일 수 있습니다. 에어레인은 CO2 주입 모듈 뿐만 아니라 Bubbler 장치 등 관련사업도 수행 중입니다.
주요 응용분야
  • Biogas Upgrading Korea

    반도체 웨이퍼 세정 시 초순수사용공정
    (Scrubber, Lithography, Mask, CMP, Dicing 등)

  • Biogas Upgrading Korea

    Display Glass 세정 시 초순수사용공정
    (Mask, Glass Cleaning 등)

  • Biogas Upgrading Korea

    기타 초순수의 전기 전도도를 낮춰서 사용해야 하는 공정

  • Why Airrane for CO2 bubbler?
  • ·Airrane is a patent-protected membrane manufacturer

    ·Fast CO2 dissolution time

    ·Simple design reduces maintenance requirements

    ·Real time data transfer system provides user’s convenience



제품 사양
Model Number Dimension (mm) Connection (inch) DI Water
L OD ID Feed Retentate CO2 In / Out
MDB-1004P 142 50 36 1/4" 1/4" 1/4" 0.2~2.0L/m
MDB-1607P 230 65 50 1/2" 1/2" 1/8" 2.0~15L/m
MDB-2108P 275 75 60 1" 1" 1/4" 15~30L/m
MDB-2510P 310 95 83 1/5" 1/5" 1/4" 10~50L/m
CO2 Injection Membrane / CO2 Bubbler
AIRRANE 제품 성능