반도체, 디스플레이 산업의 세척공정에는 다량의 초순수(DI Water)가 사용됩니다. 초순수에 CO2를 포화시켜 저항을 낮추어 고가 소재의 표면 마찰을 감소시켜 불량을 줄일 수 있습니다. 에어레인은 CO2 주입 모듈 뿐만 아니라 Bubbler 장치 등 관련사업도 수행 중입니다.
주요 응용분야
반도체 웨이퍼 세정 시 초순수사용공정 (Scrubber, Lithography, Mask, CMP, Dicing 등)
반도체 웨이퍼 세정 시 초순수사용공정 (Scrubber, Lithography, Mask, CMP, Dicing 등)
Display Glass 세정 시 초순수사용공정 (Mask, Glass Cleaning 등)
Display Glass 세정 시 초순수사용공정 (Mask, Glass Cleaning 등)
기타 초순수의 전기 전도도를 낮춰서 사용해야 하는 공정
기타 초순수의 전기 전도도를 낮춰서 사용해야 하는 공정
주요 응용분야
반도체 웨이퍼 세정 시 초순수사용공정 (Scrubber, Lithography, Mask,
